我们将为大家分两期开讲光刻机的微影大神：照明模组（lllumination module）和投影物镜模组 (Projection lens) 。

照明模组的功能就是要提供投向掩模版的光。

同学们一定会问，难道不是上期讲的激光光源提供的吗？没错，光是从激光光源生成的，但要投向掩模版的光是需要再做一些“加工”的。

在本期光刻小讲堂中，我们将为各位同学介绍：为了使投向掩模版的光达到理想的状态，以实现在晶圆表面完美成像，我们需要对这束光进行哪些“加工”呢？

01 提升光的均匀度

光刻的过程，就是光透过掩模版成像在晶圆表面的光刻胶上。ASML的双工件台光刻机是以扫描的方式来曝光的，如同打印机一般，一束条形光从一端扫描到另一端。

很重要的是，这一整个条形光的强度必须是非常均匀的。这也就意味着，在这束条形光的任何位置，能量都需要是一样的。

QUESTION:

是怎样的“加工”才能实现均匀的光强度呢？

这么复杂的问题。。。可难不倒用心科普的小编，来，我们用万花简来举个例子（童年的花花世界，你们应该都玩过吧）。

万花筒的原理，就是通过几面相对放置的镜子，将万花筒底部放置的一些七彩碎花纸，经过相对的镜子进行多次反射，产生无数的重复影像，形成繁复对称的美丽图案。

如果我们把万花筒底部的小碎花纸换成一个光源呢？在另一端的我们，是不是就能够看到无数对称的光源从各个方向照来了呢？

如此，光的均匀度就得到了显著提升啦。

02 控制扫描条形光的开合

除了条形光的均匀度外，晶圆上面每个曝光单元中的任何位置都必需接受等量的光，因此，扫描条形光必须是能够开合的。

03 调整光的形状

当光穿过掩模版上纳米宽度的图案（狭缝）时，衍射效应就产生了。必须把1阶衍射光收进投影物镜内，才能成像在晶圆上。

而随看线宽愈来愈窄，衍射光的角度愈来愈大，当1阶衍射光超过物镜外，便无法成像。

又是个头疼的难题，怎么办？改变光的形状！我们把原来的点光，改变为圆形光，如此，部分的1阶衍射光，又收进了物镜内就可以成像了！

但问题又来了。

这样成像的影像品质却并不好，因为无影像的0阶光亮度太高，而有影像信息的1阶光却只收到一点点。为了提升影像品质，我们可以将光的形状改成甜甜圈形状，这时候0阶光和1阶光的比例就接近了，从而提高图像的对比度。

TIPS:

同学应该会有个疑问，不是说照明模组投向掩模版的是条形光吗？怎么又存在点光、圆形光和甜甜圈形状的光呢？

★专业的解释需要用到光学原理中的瞳面和焦面的相关知识，在今天的光刻小讲堂中，我们先用一个浅显易懂的方式来解释：

照向掩模版的是条形光，而我们改变的是在这束条形光里面的光的基本形状。

我们可以理解为，无数的点光、圆形光、或甜甜圈形状的光集合成一束条形光投向掩模版。

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