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ASML科技聚焦
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数说ASML无尘室
2023-03-30 10:46:00
2019年天猫双11全球狂欢节交易额1分36秒破100亿元。双十一消费狂欢又交出了一份创造纪录的消费清单。
如此高能的数据,唯有ASML无尘室的惊人数据能与之PK。
无尘室知多少
众所周知,芯片要达到高精密度,对其所处制造环境的要求极为苛刻:所处环
境要保证……
- 无菌
- 无静电
- 无灰尘
- 无有害气体
生产必须在高等级洁净度的无尘室。
根据美国联邦标准,无尘室的洁净度级别分为1,10,100,1,000,10000,100,000级6个级别,等级数字越小,洁净度级别越高。
而应用在半导体行业的10级无尘室需要达到以下标准:
- 每立方米的空气中不能有超过10个颗粒
- 颗粒大小不能超过0.5微米
- 而人类头发的直径通常是50微米
数说无尘室
要达到如此严苛的要求,无尘室要有过硬的真本事。ASML的无尘室中.……
地板的厚度高达50厘米,重量相当于1,000辆路虎发现者休旅车。
无尘室主要结构的含钢量等同于一座埃菲尔铁塔,创新的无柱设计则优化了空间的使用。
当然,为了保证安全性,ASML的无尘室还具有长达4小时的耐火力。
为了达到ASML无尘室内的空气比外部干净1万倍的目标,我们的通风设备要……
每小时净化300,000立方米的空气
放到日常生活中来看,要维持这样的空气流动效力需要75,000台开到最大的电风扇。
日常生活中,一间普通住宅的通风设备每小时的换气量为200至300立方米,如果将无尘室的通风设备带到你家门口,会产生每小时150公里的风速,相当于飓风的强度!
无尘室极限的硬核数据展现的是ASML的超凡实力。而这堪称奇迹的一切得以实现,是技术、知识等多方资源的汇聚,更是无数工程师们严谨的态度和惊人毅力的凝聚。科技升级,ASML在路上。
以上内容均发布在ASML阿斯麦光刻微信公众号,欢迎搜索关注获取更多技术洞察。